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時(shí)間：2019-12-18作者：醴陵市利吉升新材料有限公司瀏覽：54

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• 詞條

  詞條說(shuō)明

• 鈀靶材的制作方法

  目前靶材的制備主要有鑄造法和粉末冶金法。鑄造法：將一定成分配比的合金原料熔煉，再將合金溶液澆注于模具中，形成鑄錠，最后經(jīng)機(jī)械加工制成靶材，鑄造法在真空中熔煉、鑄造。常用的熔煉方法有真空感應(yīng)熔煉、真空電弧熔煉和真空電子轟擊熔煉等，其優(yōu)點(diǎn)是靶材雜質(zhì)含量(特別是氣體雜質(zhì)含量)低，密度高，可大型化;缺點(diǎn)是對(duì)熔點(diǎn)和密度相差較大的兩種或兩種以上金屬，普通熔煉法難以獲得成分均勻的合金靶材。粉末冶金法：將一定成分

• 鈀靶材廠家?guī)懔私獍胁氖裁词前胁?？靶材是制備薄膜的主要材料之一，比如鍍膜靶材，通過(guò)磁控濺射，在適當(dāng)?shù)墓に嚄l件下，濺射在基體上形成各種所需功能薄膜的濺射源。當(dāng)然還有其它鍍膜工藝，比如真空離子鍍膜、蒸發(fā)鍍膜等等電鍍工藝。根據(jù)所需求工藝應(yīng)用的不同，對(duì)靶材的種類(lèi)選擇也不同。所以說(shuō)得簡(jiǎn)單一點(diǎn)，靶材就是真空電鍍材料爐里的靶，你也可以簡(jiǎn)單理解為電鍍材料的一種。靶材就材質(zhì)分類(lèi)而言分為三大類(lèi)：1. 金屬靶材 2.陶

• 靶材的制作方法、分類(lèi)及應(yīng)用

  現(xiàn)階段靶材的制取關(guān)鍵有鑄造法和粉未冶金法。鑄造法：將一定成份配制的合金原材料熔煉，再將合金飽和溶液澆筑于模貝中，產(chǎn)生澆鑄，最終經(jīng)機(jī)械加工制造做成靶材，鑄造法在真空泵中熔煉、鑄造。常見(jiàn)的熔煉方式 有真空泵磁感應(yīng)熔煉、真空泵電孤熔煉和真空電子負(fù)電子熔煉等，其特點(diǎn)是靶材殘?jiān)浚ㄓ绕涫瞧w殘?jiān)浚┑停鄬?duì)密度高，可進(jìn)口替代；缺陷是對(duì)溶點(diǎn)和相對(duì)密度相距過(guò)大的二種或兩種以上金屬材料，一般熔煉法難以獲得成份

• 靶材用在什么設(shè)備

  做金屬材料的靶材，必須真空熔化爐，或是真空燒結(jié)爐或氡氣氛圍燒結(jié)爐開(kāi)展制坯；隨后有可能必須鍛錘和軋機(jī)開(kāi)展工作壓力成型生產(chǎn)加工；然后必須真空退火爐開(kāi)展靶材熱處理工藝；隨后必須超聲波無(wú)損檢測(cè)設(shè)備開(kāi)展檢驗(yàn)；必須電鏡、ICP、激光粒度儀、費(fèi)氏粒度儀、金相顯微鏡以及制樣機(jī)器設(shè)備等開(kāi)展有機(jī)化學(xué)有效成分剖析、金相檢驗(yàn)、粉末狀粒度分布乃至晶體缺陷剖析。隨后還必須各種車(chē)銑數(shù)控磨床開(kāi)展機(jī)械加工；最終還必須關(guān)聯(lián)機(jī)器設(shè)備和