聚焦離子束（FIB）在成分分析中的應(yīng)用

時間：2020-02-14作者：深圳市啟威測標準技術(shù)服務(wù)有限公司瀏覽：238

深圳市啟威測標準技術(shù)服務(wù)有限公司專注于表面微觀形貌SEM,材料斷口觀察SEM,表面成分分析EDS,微量污染物成分分析,涂鍍層厚度測試,表面粗糙度量測等

• 詞條

  詞條說明

• SEM及EDS測試范圍有哪些？

  SEM的二次電子成像分辨率約3nm背散射電子成像分辨率約300nmEDS成分分析的元素范圍Be~U分析深度約1μm檢測下限約1%空間分辨率約1μmSEM+?EDS常規(guī)服務(wù)項目:各種固體材料的形貌分析微區(qū)化學成分檢測樣品成分的線分布和面分布分析機械探針式測量方法:探針式輪廓儀測量范圍大，測量精度高，但它是一種點掃描測量，測量費時。機械探針式測量方法是開發(fā)較早、研究充分的一一種表面輪廓測量方

• 表面分析檢測包括哪些項目？

  表面分析檢測項目：?材料表面（薄膜）基本力學性能（納米壓痕儀）?材料的硬度（顯微硬度計）?薄膜與基體的結(jié)合力（大載荷劃痕儀，納米劃痕儀）?抗摩擦磨損能力（摩擦磨損試驗機，劃痕儀）?表面應(yīng)力分析（X 射線衍射儀，納米壓痕 model 軟件）?材料物理化學性能：?耐腐蝕性能（鹽霧試驗機）?電化學性能（電化學工作站）&nbs

• 材料斷口觀察SEM分析檢測

  用肉眼（目視）或在不大于10倍的放大鏡下，檢驗金屬的宏觀組織和缺陷稱為組織檢驗。在實驗室中，常用的檢驗方法有酸蝕低倍檢驗、斷口檢驗、塔形車削發(fā)紋檢驗和硫印試驗等。酸蝕低倍檢驗，這是一種將制備好的試樣，經(jīng)過酸液腐蝕以后，來顯示試樣的宏觀組織的檢驗。而根據(jù)酸液溫度的不同，又可以分為熱酸蝕和冷酸蝕兩種檢驗。按GB/T1979評級圖對照低倍組織缺陷圖來進行評級。，通過放大鏡，在酸蝕后的試片上可以發(fā)現(xiàn)各種皮

• 聚焦離子束（FIB）在成分分析中的應(yīng)用

  焦離子束工作原理：? 聚焦離子束顯微鏡(FIB)的利用鎵(Ga)金屬作為離子源，再加上負電場?(Extractor)?牽引**細小的鎵原子，而導出鎵離子束再以電透鏡聚焦，經(jīng)過一連串可變孔徑光闌，決定離子束的大小，再經(jīng)過二次聚焦以很小的束斑轟擊樣品表面，利用物理碰撞來進行特定圖案的加工，一般單粒子束的FIB(Single Beam FIB)，可以提供材料切割、沉積金屬、